標準ガス・高純度ガス圧力調整器 S-LABO SL SL-1XX-5X6G-1414 日酸TANAKA [402583]

日酸ＴＡＮＡＫＡ(株) S-LABO S1シリーズ

特長
・多種類のガスに対応可能な本体材質ステンレス製
・外部リーク量低減と純度維持のためSUS316Lメタルダイアフラムを採用
・純度維持のために、クラス10,000のクリーンルームで生産
・純度維持のために、バルブには真空下使用できるフッ素系グリスを使用
・出流れ防止のために、入口側にフィルターを内蔵

用途：分析、供給における高純度ガス供給用（本体SUS製、一次側低圧用）。

商品スペック
仕様・規格
・型式：SL-1XX-5X6G-1414
・出入口接続：1/4”スウェージロック
・流体：標準ガス、ゼロガス、高純度ガス
・1次側使用圧力(MPa)：1（圧力計なし）
・標準流量(L/min)：260L/min(nor)（P1=1MPa,P2=0.6MPa,使用ガス：N2ガス）
・2次側圧力計(MPa)：1.0
・2次側使用圧力(MPa)：0.02〜0.6
・材質：SUS316L本体: ステンレス(SUS316L)
・質量・質量単位：1.5kg

使用条件：使用温度範囲：-10〜40℃

注意事項
・半導体用ガスにはご使用になれません。